Tarča za razprševanje iz cirkonija

Tarče za brizganje iz cirkonija so običajno različnih velikosti, odvisno od uporabe, združljivosti opreme in proizvodnega procesa. Na voljo so naslednji standardizirani in prilagojeni razponi velikosti: krožne cirkonijeve tarče (glavna velikost) Premer: 2 palca (50,8 mm) — najmanjša običajno uporabljena velikost, primerna za majhno eksperimentalno opremo in sisteme natančnih premazov 3 palci (76,2 mm) — standardna velikost v industriji polprevodnikov in optičnih premazov, pogosto uporabljena v opremi za magnetronsko naprševanje 4 palci (101,6 mm) — Glavna velikost za industrijsko masovno proizvodnjo, uravnoteženje učinkovitosti in stroškov 6 palcev (152,4 mm) — Običajno se uporablja v visoko-zmogljivi proizvodnji, primerno za velike-površinske potrebe po premazovanjuφ200 mm – φ600 mm — Podprte možnosti prilagajanja velike-velikosti, ki se pogosto uporabljajo na specializiranih področjih, kot so sončna energija in zaslonske plošče. Debelina: 3 mm – 10 mm — Največ skupni razpon debeline, uravnotežena izraba materiala in enakomernost naprševanja. 12 mm – 40 mm — Za aplikacije z visoko-močjo ali dolgo-življenjsko dobo, kot so raziskovalni-razred ali neprekinjeni proizvodni sistemi. Pravokotne/planarne tarče Razpon velikosti: 100 mm × 30 mm — Majhne pravokotne tarče, ki se običajno uporabljajo v laboratorijskih raziskavah. 200 mm × 50 mm do 500 mm × 150 mm — Industrijske-ravne tarče, primerne za veliko opremo PVD. Debelina: običajno 5 mm – 15 mm, prilagojena glede na velikost podlage in zahteve glede enakomernosti naprševanja. Na voljo je prilagoditev glede na risbe, vključno z: nepravilnimi konturami (obroč, elipsa,-oblika pahljače) Posebne debeline (<2 mm ultra-thin targets or >Tarče debeline 50 mm) Površinske obdelave (sijajni zaključek, kislinsko{1}}prani zaključek, Ra1,6 μm polirani)